辐射光设施

从生命科学、宇宙科学等基础科学，到医疗、生物、工业产品等产业领域，幅射光能够应用于各种不同领域的研究开发。产生幅射光的加速器、储存环、将辐射光输送到试样当中的光束线使用高真空到超高真空环境。荏原干式真空泵在排气困难的氢气方面也具有卓越的排气性能，是建立超高真空环境所需涡轮分子泵的前级泵的不二选择。