洩漏檢查

各業界經常需要檢查真空腔體、換熱器等設備的冷媒輸送管線、包裝容器等密封容器是否有洩漏情形。使用氦氣就能安全地檢測出極微量的洩漏情形與細微的瑕疵。而為了精準檢測出微量的氦氣，會使用到真空幫浦。荏原的乾式真空幫浦在設計上小巧且方便攜帶，並採用不會使用到油或水的潔淨排氣結構，不僅可使用於工廠，也很適合用在研究室或實驗室，因應多種使用環境。