輻射光設施

從生命科學、太空科學等基礎科學，到醫療、生物、工業產品等各個產業及領域，都會將輻射光運用在研究開發中。在用於產生輻射光的加速器、儲存環、將輻射光運往試料的光束線中，則會使用高真空或超高真空的環境。荏原的乾式真空幫浦所具備的排氣性能非常優秀，也適用於排氣困難的氫氣，最適合用來當作渦輪分子幫浦的輔助幫浦，協助打造出超高真空的環境。