EMT型/ EBT型

渦輪分子泵有磁力軸承型的EMT，和滾珠軸承型的EBT型2種類型。排氣速度可從340~4,200L/min，可因應的範圍很廣，還可選擇集成控制器型或水冷／空冷的方式。有高溫規格、耐腐蝕規格、因應反應副產物、低振動等各式各樣的機型可供選擇，可靈活因應廣泛用途。