型號		單位	ESR20N	ESR30	ESR30N	ESR500W(N)
排氣速率		L/min	1,300 ~ 2,000	3,000	3,000	46,000
到達底壓		Pa	2.0	0.53	0.67	0.2
連接口徑	進氣口		NW40	NW50	NW50	ISO160
	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40
到達壓力時電力概估/時		kW	0.7	1.7	1.7	3.1
冷卻水	流量	L/min	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	19~22 (0)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)	19~22 (3.4)
電源　相／電壓／頻率	200V機型		3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz	3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz
	400V機型		3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz	3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz
消耗電力		kVA	4.0	7.0	7.0	12.3
重量		kg	90	190	190	500