節能
耐腐蝕材料的選擇
不同頻率(50/60Hz)性能相同
無油
可支援CE認證/SEMI-S2/NRTL
以獨創的轉子設計和空轉功能,實現節能及小型化。有助於降低運行成本。另外,可選擇耐腐蝕材料,從Loadlock・SEM等輕負荷用途到腐蝕性製程皆可廣泛應用。
型號 | 單位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
排氣速率 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
到達底壓 | Pa | 2.0 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
連接口徑 | 進氣口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
到達壓力時電力概估/時 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
冷卻水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
電源 相/電壓/頻率 | 200V機型 | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz |
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400V機型 | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz |
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消耗電力 | kVA | 4.0 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | |
重量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 |
EV-M型
最適合用於節能・高負荷工程的乾式真空幫浦
EV-S型
節能・省空間的乾式真空幫浦
乾式真空幫浦/廢氣處理設備一體化系統
可將腔體排氣・廢氣處理製程最佳化,降低統合・管理的成本