產品介紹
以獨創的轉子設計和空轉功能，實現節能及小型化。有助於降低運行成本。另外，可選擇耐腐蝕材料，從Loadlock・SEM等輕負荷用途到腐蝕性製程皆可廣泛應用。
規格
| 型號 | 單位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排氣速率 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 到達底壓 | Pa | 2.0 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 連接口徑 | 進氣口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達壓力時電力概估/時 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400V機型 | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 消耗電力 | kVA | 4.0 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | |
| 重量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
