TND型
燃燒式廢氣處理設備，以低NOx且豐富的反應副產物對策降低維修成本
燃燒式廢氣處理設備
低NOx, 低CO排出
一次處理多種氣體
高效處理PFCs氣體
副產物對策・自動排出粉體功能
可選擇Wet-Burn-Wet機型
長期維修間隔
運行成本低
產品介紹
TND型採用獨創的燃燒方式，實現了低NOx、低CO排放的燃燒式廢氣處理設備。透過各式各樣的腐蝕・副產物對策，實現了和以往產品相比3倍以上的維修間隔，並透過降低能源消耗控制成本。產品陣容有燃燒式+濕式洗滌器的TND-Single型和前段洗淨+燃燒式+濕式洗滌器的TND-Single Plus。副產物較多的製程也能實現低運行成本、高效處理。
規格
| 型號 | 單位 | TND-Single A1-A4/ TND-Single P1~P4 | TND-Single Plus-A1~A4/P1~P4 |
| 處理方式 | 燃燒式＋濕式 | 濕式＋燃燒式＋濕式 | |
| 最大流入氣體容許量 | L/min | 200(每1埠) | 200(每1埠) |
| 400(每1設備) | 400(每1設備) | ||
| 燃料 | 天然氣／液化石油氣 | 天然氣／液化石油氣 | |
| 尺寸 | W x D x H mm | 1,200 x 650 x 1,980 | 1,200 x 650 x 1,980 |
| 可處理的氣體 | 工程(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2 、PH3、Si3H8など 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 | 工程(倉庫)氣體 WF6、TiCl4、SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 PFCs CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等 | |
| 標準配備品 | 粉體除去用水洗淨機構 | 前段粉體捕集機構 | |
| 粉體除去用燃燒器刮刀 | 粉體除去用燃燒器刮刀 | ||
| 選配 | 減少市水、排水用量元件 | 減少市水、排水用量元件 | |
| 減少粉體排出用扇葉洗滌塔 | 減少粉體排出用扇葉洗滌塔 | ||
