방사광 시설

방사광은 생명과학・우주과학 등 기초과학부터 의료・바이오・공업 제품 등의 산업 분야에 이르기까지 다양한 분야의 연구개발에 이용되고 있습니다. 방사광을 발생시키기 위한 가속기, 스토리지 링, 방사광을 시료까지 옮기기 위한 빔 라인에는 고진공~초고진공이 사용됩니다. 에바라의 드라이 진공 펌프는 배기가 어려운 수소가스에도 우수한 배기 성능을 발휘하며 초고진공을 만들어 내기 위한 터보 분자 펌프인 백 펌프에 최적합 합니다.