GT형
배수 처리가 필요 없는 비소・인 등의 유해독물질 처리, 건식 제해 장치
건식 배출가스 처리 장치
에너지 절약
다양한 용도에 대응
배수 처리 불필요
연료 불필요
연구 설비용에 최적
특정 화학 물질을 흡착
제품소개
처리 대상에 따라 적합한 흡착제를 선택할 수 있어 폭넓은 애플리케이션에 대응할 수 있습니다.
명세서
| 기기명 | 단위 | GTE-3-0 | GTE-0-2 | GTC-1-0 | GTC-2-0 | GTC-6-0 | GTC-0-1 |
| 처리 방식 | 건식 | 건식 | 건식 | 건식 | 건식 | 건식 | |
| 처리 가능 가스 | HBr, Cl2, BCl3, F2, SiF4, HF, COF2, C5F8, C4F6 등 | NF3, N2O, NO, NO2, SiF4, HF, F2 등 | SiH4, PH3, AsH3, TMS 등 | NH3, SiH2Cl2, SiCl4 등 | TEOS, TMB, TME, O3 등 | ClF3, HF, F2, HCl 등 | |
| 최대 유입 가스 허용량 | L/min | 100 | 80 | 100 | 100 | 100 | 100 |
| 치수 Single | W x D x H mm | 600x600x2,000 | 900x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 | 600x600x2,000 |
| Dual | W x D x H mm | 900x600x2,000 | - | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 | 900x600x2,000 |
