EV-S型

省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ

省エネルギー
小型・軽量
耐腐食性材料オプション
N2パージモデル選択可能
異なる周波数（50／60Hz）で同一性能
オイルフリー
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能

製品紹介

独自のロータ設計とアイドリング機能により世界最高レベルの省エネルギーかつ小型化を実現。ランニングコストの削減に貢献します。また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。

スペック

型式 単位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N
排気速度 L/min 1,670 1,670 3,300 3,300 5,000 5,000 10,000 10,000 20,000 20,000
到達圧力 Pa 3 5 0.5 1.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
接続口径 吸気口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100
排気口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40
到達圧力時電力概略値 kW 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75
冷却水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0
温度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa•m3/s - 17～20 (2.4) - 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4) 17～20 (2.4)
電源　相／電圧／周波数 200Vモデル 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz 3相/200-220V,50/60Hz
400Vモデル 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz - - 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz 3相/380-440V,50/60Hz
電源容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8
概略質量 kg 60 60 90 90 100 100 120 120 170 170

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