廢氣處理

化學、材料、電子零件等產品的製造工程中會產生有害氣體。而廢氣處理設備就是透過燃燒、觸媒等方式將有害氣體無害化的設備。隨著近年環保意識提升，廢氣處理設備的需求也跟著增加。
荏原提供的多種廢氣處理設備被廣泛運用在半導體製造等各個產業中，包括可高效率地同時處理多種可燃氣體的燃燒式機型、不需燃料且不需排水處理的乾式機型等，可供顧客依據要處理的氣體和使用環境來選擇。