半導體製造

半導體技術已廣泛運用在電腦、智慧型手機、家電產品、車輛、醫療設備等日常生活中不可或缺的多種設備中。在半導體的製作上包括蝕刻、洗淨、薄膜成形、離子植入、平坦化處理等必要工程，而用於這些製造工程中最先進的製造設備與組件在性能、可靠性、安全性、環境負荷等方面則通過了嚴苛的要求。荏原在業界尖端的技術力也持續推進著日益微縮化、高效率化的半導體製造產業。