EST型
可因應反應副產物、大流量氣體排氣的乾式真空幫浦
因應高溫化控制
大排氣速度
大流量排氣
採用耐腐蝕材料標準
提高耐腐蝕性的選擇
因應高負荷製程
不同頻率（50／60Hz）性能相同
無油
可支援CE認證/SEMI-S2/NRTL
產品介紹
EST型採用螺旋形轉子，搭載高溫化功能，以保持泵內氣體維持高溫，適用於形成反應副產物的CVD等用途。採用標準耐腐蝕材料，實現大排氣速度及大流量排氣，抑制停機時間，有助於製程效率化。
規格
| 型號 | 單位 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 排氣速率 | L/min | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 到達底壓 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 連接口徑 | 進氣口 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達壓力時電力概估/時 | kW | 2.3 | 3.0 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 | 3相/200-220V,50/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400V機型 | 3相/380-440V,50/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | ||
| 消耗電力 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16.0 | |
| 重量 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
