G6-E型
燃燒式廢氣處理設備，可同時處理大流量的氫氣體、氯氣體
燃燒式廢氣處理設備
因應大流量氯氣和氫氣
一次處理多種氣體
高效處理PFCs氣體
副產物對策・自動排出粉體功能
運行成本低
按需求運行
提高維修性
產品介紹
G6-E型是燃燒式廢氣處理設備，適用於半導體製造製程中，包含磊晶成長裝置等的大流量氫和氯的廢氣處理。小巧的設計，最高可處理200L/min的氫，亦可同時處理氫氣、氯氣。標準搭載去除副產物功能，降低維修成本及負荷。
規格
| 型號 | 單位 | G6-E A1~A4 | G6-E P1~P4 |
| 處理方式 | 燃燒式＋濕式 | 燃燒式＋濕式 | |
| 最大流入氣體容許量 | L/min | 400 | 400 |
| 燃料 | 天然氣 | 液化石油氣 | |
| 尺寸 | W x D x H mm | 1,200×650×1,900mm | 1,200×650×1,900mm |
| H₂最大可處理流量 | L/min | 200 | 200 |
| 可處理的氣體 | 工程(倉庫)氣體 H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 | 工程(倉庫)氣體 H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、等 所有清洗用氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 所有蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等 | |
| 標準配備品 | 大流量H2處理燃燒器 | 大流量H2處理燃燒器 | |
| 粉體除去用燃燒器刮刀 | 粉體除去用燃燒器刮刀 | ||
| 選配 | 減少市水、排水用量元件 | 減少市水、排水用量元件 | |
| 減少粉體排出用扇葉洗滌塔 | 減少粉體排出用扇葉洗滌塔 | ||
