EV-X型
小型・節能，可對應多種製程
適用中負荷製程
適用高溫化控制
節能
標準採用耐腐蝕性材料
可進一步選配加強耐腐蝕性材質
不同頻率（50Hz/60Hz）下相同性能
可適用CE標誌／SEMI-S2／NRTL
節省空間
產品介紹
配備荏原獨創之節能技術，採用針對自動化工廠製造最佳化之模組設計，實現更加小型化・節能化之中負荷製程使用之乾式真空泵浦。
以廣域範圍的溫度控制機能擴大適用於各製程。能以同一機種因應多種製程，使預備機庫存最佳化、減輕人力負擔，亦可彈性因應未來製程擴充。並藉由實現為各製程實施最佳溫度控制以提升製程耐性，使零件更換周期變長有益於減少TCoO。
適用應用製程例：各種蝕刻及化學氣相沉積、去光阻、離子注入、磊晶等製程
支持的應用程序
