E-Support
リニューアルサポート

お客様に長年ご愛用頂いているレガシー装置(正規サポートを終了した装置)におけるサポート継続に取り組んでおります。
製品・構成機器等のリニューアルのご用命に対応しております。

E-Support 対象製品

2025年1月時点

製品	型式・シリーズ
CMP装置	F-REX200、F-REX300、F-REX300S、F-REX300E
めっき装置	UFP200/300シリーズ