드라이 진공 펌프・배출가스 처리 장치 일체형 시스템
챔버 배기・배출가스 처리 프로세스의 최적화가 가능, 통합・관리 비용 절감
플렉시블 구성
설치 부하 절감
공간 절약
일괄 조작・관리 가능
펌프 연결 대수: 1~8대
제품소개
드라이 진공 펌프+배출가스 처리 장치 일체형 시스템은 당사 드라이 진공 펌프와 배출가스 처리 장치의 통합 제품입니다. 고객의 생산 효율을 최대화할 수 있는 시스템을 제안합니다. 요건에 맞게 최적의 드라이 진공 펌프를 배출가스 처리 장치와 조합하여 설비 설치 부하를 절감. 통합 배기 시스템으로 일괄 조작・일괄 관리가 가능하여 고효율 프로세스를 실현합니다.
