EV-M형
에너지 절약 및 고부하 프로세스에 최적인 드라이 진공 펌프
고부하 프로세스 대응
고온화 제어 대응
에너지 절약
내부식성 재료 표준 채택
내부식성 향상 옵션
다른 주파수(50/60Hz)로 동일한 성능
오일 프리
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
제품소개
에바라의 독자적인 고온화 기술로 반도체・액정・태양전지 제조 공정 중 반응 부생성물이 발생하는 고부하 프로세스에 대응. 우수한 에너지 절약 성능으로 고부하 프로세스 대응과 에너지 절약을 동시에 실현했습니다. 내부식성 재료를 표준 탑재하고 110,000L/min의 대배기량 모델도 라인업. 프로세스 조건에 맞는 풍부한 라인업으로 폭넓은 고부하 프로세스에 대응 가능합니다.
명세서
| 기기명 | 단위 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 배기 속도 | L/min | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 도달 압력 | Pa | 5.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 접속구경 | 흡기구 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 배기구 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 냉각수 | 유량 | L/min | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 온도 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 유량 | Pa•m3/s | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 전원 상/전압/주파수 | 200V 모델 | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | |
| 400V 모델 | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | - | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | ||
| 전원 용량 | kVA | 3.3 | 5.4 | 6.0 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 개략 질량 | kg | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
