EST형
반응 부생성물 대응, 대유량 가스 배기가 가능한 드라이 진공 펌프
고온화 제어 대응
빠른 배기 속도
대유량 배기
내부식성 재료 표준 채택
내부식성 향상 옵션
고부하 프로세스 대응
다른 주파수(50/60Hz)로 동일한 성능
오일 프리
CE 마크/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
제품소개
EST형은 스크류형 로터를 채택하고 펌프 내 가스를 고온으로 유지하는 고온화 기능을 탑재하고 있어 반응 부생성물이 형성되는 CVD 등의 용도에 최적합합니다. 내부식성 재료의 표준 채택, 빠른 배기 속도 및 대유량 배기의 실현, Downtime 을 줄여 프로세스의 효율화에 기여합니다.
명세서
| 기기명 | 단위 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 배기 속도 | L/min | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 도달 압력 | Pa | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 접속구경 | 흡기구 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 배기구 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 도달 압력 시 전력 개략 시 | kW | 2.3 | 3.0 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 냉각수 | 유량 | L/min | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 온도 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 유량 | Pa•m3/s | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 전원 상/전압/주파수 | 200V 모델 | 3상/200-220V,50/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | 3상/200V/50Hz 3상/200-220V/60Hz | |
| 400V 모델 | 3상/380-440V,50/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | 3상/380-400V/50Hz 3상/380-440V/60Hz | - | ||
| 전원 용량 | kVA | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16.0 | |
| 개략 질량 | kg | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
