FDS형
배수 처리 불필요, PFCs 가스의 고효율 안전 처리, 건식 배출가스 처리 장치
건식 배출가스 처리 장치
에너지 절약
PFCs 가스 고효율 처리
F계 가스 고정 처리
배수 처리 불필요
연료 불필요
제품소개
FDS형은 배수 처리가 필요 없고 PFCs 가스를 고효율로 안전하게 처리할 수 있는 건식 배출가스 처리 장치입니다. PFCs 가스를 99.9% 이상 고효율 처리할 수 있고 분해 후의 F계 가스를 건식 고정하기 때문에 배수가 발생하지 않아 유독 배수 처리가 필요 없습니다. 최대 유입 가스량 250L/min으로 PFCs 제거 효율 99％ 이상(250L/min Dual Cylinder 타입인 경우), Vessel Serial Flow 설계로 장치 업타임을 크게 향상할 수 있는 Dual Cylinder Type, 기존 건식 배출가스 처리 장치에서 치환이 용이한 Single Cylinder Type이 라인업되어 있습니다. 배수 처리 설비나 연료 라인이 없는 실험실에서 사용하기에도 최적합합니다.
명세서
| 기기명 | 단위 | FDS100S | FDS250 |
| 처리 방식 | 건식 | 건식 | |
| 반응조 개수 | 1 | 2 | |
| 반응조 교환 검지 | 표준 : 하중계 옵션 : PFC 검지기 | 표준： PFC 검지기 | |
| 최대 유입 가스 허용량 | L/min | 100L/min | 250L/min |
| 치수 | W x D x H mm | 600×600×2,000mm | 1,605×1,000×2,507 |
| 처리제 수명 | L/개 | CF4 : 3,000 | CF4 : 10,000 |
| 처리 대상 가스 | CF4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3 등 | CF4, C2F6, C3F6, CHF3, SF6, C5F8, C4F6, NF3 등 | |
