廢氣處理設備

廢氣處理設備又稱為除害設備、洗淨塔，是能將製造工程中使用的各種氣體無害化後安全排出的處理設備。
依排出的氣體種類或氣體的量，可採用燃燒式、濕式、乾式、觸媒式等處理方法。除了以半導體製造為主的電子設備產業，亦逐漸活用於化學工場、電鍍・塗裝工程、空調的冷媒分解等各項領域中。
依排出的氣體種類，可使用燃燒式、濕式、乾式、觸媒式等處理方法。除了以半導體製造為首的電子機械產業外，也拓展活用至化學工廠、電鍍・塗裝工程等各領域。

荏原的廢氣處理設備中，有連難以處理的地球暖化氣體（PFCs氣體）與溫室氣體（GWG）都能高效率處理的機型、可安全處理氫氣等可燃性氣體的機型、將含有砷等高毒性物質之氣體無毒化的機型等，可處理各種氣體的產品一應俱全。

除了有可概括處理地球暖化氣體（PFCs氣體）與溫室氣體（GWG）以及可燃性氣體的燃燒式廢氣處理設備外，還有無須排水處理的乾式、無須燃料的觸媒式、以水處理的濕式等多項系列產品。

透過燃燒型廢氣處理設備透過獨家開發的燃燒器與產物去除功能等各種產物措施，減少維護時間與頻率。此外，更搭載可依處理目標氣體的種類與量來變更燃料供給量等運轉條件之隨選運轉功能，可降低運轉與維護的成本。

荏原的廢氣處理設備至今為止主要是配合半導體機械製造的發展，持續進行技術革新。
以下介紹荏原的廢氣處理設備的使用例子。