EV-X형
소형화/에너지 절약, 폭넓은 프로세스를 한 대로 실현 가능
중부하 프로세스 대응
고온화 제어 대응
에너지 절약
내부식성 재료 표준 채택
내부식성 향상 옵션
다른 주파수(50Hz/60Hz)로 동일한 성능 오일
오일 프리
CE 마킹/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
풋프린트 절감
제품소개
에바라만의 에너지 절약 기술을 탑재하고 자동화 공장에서의 제조에 최적화된 모듈 설계를 채택하여 소형화와 에너지 절약 능력을 한층 더 강화한 중부하 프로세스용 드라이 진공 펌프입니다.
와이드레인지 온도 제어로 적용 프로세스를 확대. 여러 프로세스를 동일한 기종으로 다룰 수 있으므로 Spare Pump 재고의 최적화, Maintenance와 트레이닝에 드는 수고를 줄여 향후의 프로세스 확장에도 유연하게 대응할 수 있습니다. 또한, 프로세스별 최적 온도로 컨트롤하여 프로세스 내성 향상을 실현하고, 부품의 교체 주기 장기화로 TCoO의 절감에 기여합니다.
대응 애플리케이션 예: 각종 에칭 및 CVD, 애싱, 이온 주입, 에피택셜 성장 등
지원 애플리케이션
