G-WS형
수용성 가스의 저비용 처리에 최적인 공간 절약 습식 배출가스 처리 장치
습식 배출가스 처리 장치
여러 가스 일괄 처리
부생성물 대책
장기 메인터넌스 인터벌
낮은 러닝 코스트
낮은 이니셜 코스트
CE 마킹/SEMI-S2/NRTL 대응 가능
제품소개
저비용으로 도입/운용이 가능한 습식 배출가스 처리 장치입니다. 연료가 필요하지 않으며, 10년 이상의 연소식 배출가스 처리 장치 생산을 통해 수립한 에바라의 독자적인 부생성물 대책으로 장기 Maintenance 주기를 실현하였습니다. 안정적인 가동과 Maintenance 비용/수고 절감에 기여합니다.
또한 Maintenance 공간은 장비 앞면에 있습니다. 한정된 서브팹 공간에서도 유연성 높은 배치가 가능합니다.
처리 대상 가스: NH3, DCS, TiCl4, WF6, HF, HCl 등 상온에서 처리 가능한 수용성 가스
사양표
| 형식 | 단위 | G-WS1000 | |
| 최대 처리 풍량 | L/min | 1,000 | |
| 접속 유입구 수 | 4 | ||
| 외형 치수 | mm | W914×D736×H1,727 | |
| 용력 | 수량 | L/min | 1 - 10 |
| 배수량 | L/min | 1 - 10 | |
| 질소 | L/min | 15-50 | |
| 전원 | 1.8-3.5kW, 3상 AC 200V(50/60Hz) | ||
| 배기 덕트(처리 완료 가스) | 1.5 | ||
| 배기 덕트(케이스 배기) | m3/min | 1.3 | |
| 주요 처리 가능 가스 | Epi | HCl, DCS | |
| CVD | WF6, NH3, TiCl4, BCl3, ClF3, SiF4, Cl2*, F2* | ||
| Etching | BCl3, HCl, HF, HBr, SiF4, Br2*, Cl2*, F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 습식으로는 처리할 수 없는 가스 | H2, SiH4, PH3, GeH4, CH4, PFCs (CF4, SF6, NF3) etc. | ||
| *처리 시 문의해 주십시오 | |||
