废气处理装置

什么是废气处理装置

废气处理装置又称净化装置、洗涤器，能够净化制造工艺中使用的各种气体，做到安全排放。
按照排放废气的种类和气体量，所用的处理方法有燃烧式、湿式、干式、催化式等。除用于半导体制造等电子设备产业领域以外，它还在化学工厂、电镀和涂装工艺、空调的冷媒分解等领域发挥着作用。
按照排放废气的种类，其所用的处理方法有燃烧式、湿式、干式、催化式等。除用于半导体制造等电子设备产业领域以外，还在化学工厂、电镀和涂装工艺等领域发挥着作用。

01.氟化温室气体（PFCs气体）、全球温室气体（GWG）、有害气体、可燃性气体、异味气体的无害化处理
02.凭借紧凑型设计，可在用水点（POU）设备上使用

荏原废气处理装置的优点

通过对氟化温室气体（PFCs气体）和全球温室气体（GWG）的高效处理、
装置的高度安全性以及反应副产物应对措施，维护性能得以优化。

荏原的废气处理装置包括可处理各种气体的产品，例如可高效处理难以处理的氟化温室气体（PFCs气体）和全球温室气体（GWG）的机型、能够安全处理氢气等可燃性气体的机型、对含有砷等较强毒性物质的气体进行无毒化处理的机型等。

产品阵容丰富多样，除了能够一次性处理氟化温室气体（PFCs气体）、全球温室气体（GWG）和可燃性气体的燃烧式废气处理装置以外，还包括无需进行排水处理的干式装置、无需燃料的催化式装置以及进行水处理的湿式装置等。

燃烧式废气处理装置通过独家开发的燃烧器和生成物去除功能等各种生成物处理措施，能够减少维护时间，降低维护频率。除此之外，废气处理装置还搭载了按需运行功能，可以按照处理气体的种类和数量，对燃料供应量等运行条件进行调节，从而降低运行成本和维护成本。