利用“废气处理技术”为可持续发展社会做贡献

同时为尖端产业和地球环境提供支持的“废气处理装置”

近几年人们热议的生成式AI、自动驾驶、智能手机等技术进步都离不开半导体。据说这种半导体制造工艺有数百道工序,很多工序会用到各种特殊气体。这些气体在符合各国法律法规的基础上,以环保形态经正确处理后排放到工厂外,在一系列排气工艺中会用到废气处理装置。近年来整个半导体行业的环保意识进一步提高,预计今后废气处理装置的需求将继续扩大。

精密与电子公司经营的废气处理装置有很多用途,例如,降低全球温室效应较强的PFCs的温室效应,安全处理可燃性气体,对含有对人体有害的重度毒性物质的气体进行无毒化。本公司针对这些多样化用途,提供了能够通过燃烧式、湿式、干式、催化剂式等多种处理方法进行各种气体处理的产品阵容。另外,由于是发生源附近使用的用水点(POU)设备,所以不需要铺设到大型处理设备的长距离管道。引进时可抑制初期费用,设计紧凑,安装和搬迁方便,所以有在量产设备和实验用途中使用都很方便的特点。

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