产品介绍
GCR型是一种催化法废气处理装置，可通过低运行成本，高效分解去除半导体氧化膜蚀刻工艺等所用的CF4等PFCs气体。催化处理后，可对HF废气进行水处理，无需燃料。能够实现节能高效处理。反应槽提供2种选择：一氧化碳和酸性气体处理用反应槽或者PFC处理用反应槽（选配）。设备采用使用寿命长、方便维护的反应槽，能够有效降低使用过程中的维护成本。
规格
| 设备名称 | 单位 | GCR120* | GCR250 |
| 处理方式 | 催化式 + 湿式 | 催化式 + 湿式 | |
| 最大允许流入气体量 | L/min | 120 | 250 |
| 反应槽更换检测 | PFC检测器 | PFC检测器 | |
| 尺寸 | W x D x H mm | 1,200×600×1,800mm | 1,400×700×1,850mm |
| 可处理气体 | CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等 | CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6、C5F8、C4F6、NF3、HF、F2、SiF4、CO、COF2、N2O等 | |
| *销售数量产品 | |||
