乾式真空泵

所謂的乾式真空泵，是一種不使用油或液體進行密封的非接觸型真空泵。水或油不會逆流或擴散，可以獲得乾淨的真空。且無須進行水或油的補充與更換等定期維護，是使用起來十分容易的泵。
是重視乾淨度的半導體機械製造工程、FPD・LED・ 太陽電池製造工程中，不可或缺的泵。近年來，透過質量分析計與電子顯微鏡等分析裝置，可輕易地獲得乾淨的排氣，使用範圍逐漸擴大。此外，由於乾淨的真空與維護的便利性，也逐漸引進至真空乾燥工程、成膜工程等各種用途中。

荏原的乾式真空泵以省能源・小型的特性，活躍於各個領域。
最佳化的獨家轉子設計能提高壓縮效率，實現了低耗電的特性。採小型・輕量設計，可放置於有限的空間，亦可輕鬆移動設置位置。全世界已累計20萬台以上^＊的銷售實績，以嚴格要求性能與可靠性的半導體業界為主，活躍於各個領域。此外，在全世界擁有50個以上的服務據點，全球皆可提供安心的支援。有業界最高水準的小型・輕量機型、氫氣排氣機型、適用於工程中會有反應副產物產生的高負荷機型等，敬請從豐富產品陣容中，挑選最符合您需求的型號。
＊截至2020年9月

荏原的乾式真空泵，至今為止主要是配合半導體機械製造的發展，持續進行技術革新。
近年來在半導體以外的產業領域也正在拓展發展空間。