乾式真空泵
何謂乾式真空泵
所謂的乾式真空泵,是一種不使用油或液體進行密封的非接觸型真空泵。水或油不會逆流或擴散,可以獲得乾淨的真空。且無須進行水或油的補充與更換等定期維護,是使用起來十分容易的泵。
是重視乾淨度的半導體機械製造工程、FPD・LED・ 太陽電池製造工程中,不可或缺的泵。近年來,透過質量分析計與電子顯微鏡等分析裝置,可輕易地獲得乾淨的排氣,使用範圍逐漸擴大。此外,由於乾淨的真空與維護的便利性,也逐漸引進至真空乾燥工程、成膜工程等各種用途中。
01.無油帶來的乾淨真空
02.可從大氣壓到高真空
03.無須水或油的補充與更換等定期維護
荏原的乾式真空泵的強項
省能源・小型設計。安心的全球支援與豐富的產品製品陣容
荏原的乾式真空泵以省能源・小型的特性,活躍於各個領域。
最佳化的獨家轉子設計能提高壓縮效率,實現了低耗電的特性。採小型・輕量設計,可放置於有限的空間,亦可輕鬆移動設置位置。全世界已累計20萬台以上*的銷售實績,以嚴格要求性能與可靠性的半導體業界為主,活躍於各個領域。此外,在全世界擁有50個以上的服務據點,全球皆可提供安心的支援。有業界最高水準的小型・輕量機型、氫氣排氣機型、適用於工程中會有反應副產物產生的高負荷機型等,敬請從豐富產品陣容中,挑選最符合您需求的型號。
*截至2020年9月
相關應用
荏原的乾式真空泵,至今為止主要是配合半導體機械製造的發展,持續進行技術革新。
近年來在半導體以外的產業領域也正在拓展發展空間。