배출가스 처리 장치

배출가스 처리 장치란, 제해 장치, 스크러버라고도 불리며 제조 공정에서 사용되는 다양한 가스를 무해화하여 안전하게 배출하기 위한 처리 장치입니다.
배출되는 가스 종류와 가스량에 따라 연소식, 습식, 건식, 촉매식 등의 처리 방법이 사용됩니다. 반도체 제조를 비롯한 전자 기기 산업 외에 화학 공장, 도금 및 도장 공정, 에어컨의 냉매 분해 등 다양한 분양에서 활용되고 있습니다.

에바라의 배출가스 처리 장치는 처리하기 어려운 지구 온난화 가스(PFCs 가스)나 온실가스(GWG)의 고효율 처리가 가능한 타입, 수소 가스 등 가연성 가스를 안전하게 처리하는 타입, 비소 등 독성이 강한 물질을 포함하는 가스를 무독화하는 타입 등 각종 가스 처리가 가능한 제품을 갖추고 있습니다.

지구 온난화 가스(PFCs 가스)나 온실가스(GWG)와 가연성 가스의 일괄 처리가 가능한 연소식 배출가스 처리 장치 외에 배수 처리가 필요 없는 건식, 연료가 필요 없는 촉매식, 수처리에 의한 습식 등 다양한 제품을 라인업했습니다.

연소형 배출가스 처리 장치는 독자 개발한 버너와 생성물 제거 기능 등의 다양한 생성물 대책을 통해 유지보수의 시간과 빈도를 절감. 그리고 처리 대상 가스의 종류와 양에 따라 연료 공급량 등 운전 조건을 바꿀 수 있는 맞춤형 운전 기능을 탑재하여 가동 비용과 관리 비용 절감할 수 있습니다.

지금까지 에바라의 배출가스 처리 장치는 주로 전자 반도체 디바이스 제조의 발전과 함께 기술 혁신을 이루어 왔습니다.
에바라의 배출가스 처리 장치 사용 예를 소개드립니다