精密、電子業務

荏原的精密、電子事業分公司支援業界最先進的技術製造環境，是真空技術與平坦化技術的領導企業。

荏原向世界提供各式各樣的產品，除了半導體製造不可或缺的CMP裝置，還有乾式真空泵、廢氣處理設備、臭氧水製造設備等。這些產品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制，持續被採用於多樣化的領域。不僅於半導體領域，荏原製作所的產品於化學、醫療以及其他製造業與研究開發用途中都十分活躍。