精密、電子業務

支援製造・研究開發的最佳夥伴

透過世界最高水準的技術與全球支援,實現穩定運轉與生產性的提升

最先進的真空技術,提升生產效率

最先進的真空技術,提升生產效率

安心的全球支援

安心的全球支援

自動化工廠強化生產工程

自動化工廠強化生產工程

高可靠性機器支援事業營運

高可靠性機器支援事業營運

荏原的精密、電子事業分公司支援業界最先進的技術製造環境,是真空技術與平坦化技術的領導企業。
荏原向世界提供各式各樣的產品,除了半導體製造不可或缺的CMP裝置,還有乾式真空泵、廢氣處理設備、臭氧水製造設備等。這些產品具有高性能、高可靠性以及安心的支援體制,持續被採用於多樣化的領域。不僅於半導體領域,荏原製作所的產品於化學、醫療以及其他製造業與研究開發用途中都十分活躍。

市佔率・實績

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