リーク検査

真空チャンバ、熱交換機などの冷媒輸送ライン、包装容器などの密閉容器の漏れを検査するために、様々な業界で広く用いられます。ヘリウムガスを用いることで、極めて微量の漏れや微細な欠陥を安全に検出可能です。微量なヘリウムガスの漏れを高精度に検知するために真空ポンプが用いられます。荏原のドライ真空ポンプは持ち運びしやすい小型設計かつ油や水を使用しないクリーン排気で、工場だけでなく研究室・実験室などの多様な使用環境に対応可能です。