クリーンな環境を生む真空技術「ドライ真空ポンプ」
半導体製造に欠かせない真空空間をつくり出す「ドライ真空ポンプ」
皆さんは「真空」と聞いて何をイメージするでしょうか。宇宙空間のような「何もない空っぽの状態」をイメージするかもしれません。今や私たちの生活に欠かすことのできないスマートフォン・パソコンなどの電子機器をはじめ、日常生活で使う魔法瓶から、最先端の物理学実験で使う粒子加速器まで、さまざまな分野で真空技術を利用した製品が存在しています。その中でも真空が特に大きな意味を持つのが半導体の製造です。
半導体の基板となるウェーハを加工する工程では、不純物（気体分子など）を混入させないためにチャンバーと呼ばれる加工空間から真空ポンプで空気を抜き、できるだけ真空度を高めます。その際に必要になるのが精密・電子カンパニーが手がける「ドライ真空ポンプ」です。空間の中の気体分子を除去する機能があり、接ガス部にオイルを用いない構造のため、水や油の逆流や拡散による汚染の心配がなくクリーンな真空が得られます。当社は1986年からドライ真空ポンプの販売を開始し、現在は世界シェア2位。世界50ヶ所以上のサービス拠点を持ち、グローバルで安心のサポート体制が整っているため、世界中の多くの企業から支持されています。
