持続可能な社会に「排ガス処理技術」で貢献する

先端産業と地球環境を共に支える「排ガス処理装置」

最近話題の生成AIや自動運転、スマートフォンなど、テクノロジーの進化に半導体は欠かすことができません。その半導体の製造プロセスは数百工程あると言われており、その工程の多くでさまざまな特殊なガスが使用されています。こうしたガスは各国の法令に準拠した上で、環境に配慮した形で適切に処理して工場外に排出されており、その一連の排気プロセスの中で排ガス処理装置が使用されています。近年では半導体業界全体でより一層環境配慮への意識が高まってきており、今後も排ガス処理装置の需要は拡大していくことが予想されています。

精密・電子カンパニーの手がける排ガス処理装置は、地球温暖化効果の高いPFCsの温暖化効果を低減する用途や、可燃性ガスを安全に処理する用途、人体に有害な毒性の強い物質を含むガスを無毒化する用途などがあります。こうした多様な用途に対して、燃焼式、湿式、乾式、触媒式、といった多くの処理方法で、さまざまなガスの処理が可能な製品ラインナップをそろえています。また、発生源の近くで使用するポイントオブユース型のため、大型処理設備までの長距離配管が不要です。初期費用を抑えて導入でき、コンパクトな設計で設置・移設も容易にできるため、量産設備だけでなく実験用途でも使いやすい点が特長です。