地球環境に配慮したサステナブルな製品開発を推進

近年、世界各国で温室効果ガスの実質排出量を全体としてゼロにするという「カーボンニュートラル」の宣言が出され、日本でも具体的な数値目標が掲げられています。そして、カーボンニュートラルは半導体業界にとっても重要なキーワードであり、環境に配慮した持続可能な半導体製造技術の重要性がさらに高まってきています。荏原グループはその一員としてカーボンニュートラル実現に向けた事業活動を行っており、さまざまなアプローチで環境に配慮した製品開発に取り組んでいます。

コンポーネント事業の主力製品であるドライ真空ポンプでは小型化・軽量化・低消費電力化に取り組み、排ガス処理装置では燃料使用量の低減や脱化石燃料化、温室効果ガスの分解性能向上を進めることで環境負荷低減を実現しています。また、EUV排気システムでは水素を再利用するシステムを構築し資源の有効利用の検討を進めています。CMP事業では低消費電力化・ユーティリティ使用量削減を行うと共に、その他事業においては純水使用量を大幅に削減した新型ウェーハめっき装置、薬液やプロセスガスが基本的に不要なウェーハベベル研磨装置の開発・拡販に取り組んでいます。

自社工場内でも積極的に再生可能エネルギーを採用しており、藤沢事業所では工場屋上に太陽光発電パネルを設置して環境負荷低減に努めています。荏原グループは今後も、持続可能な開発目標（SDGs）の達成を目指し、カーボンニュートラルの実現に向けた取り組みを加速していきます。