EMT型/ EBT型

磁気軸受型のEMT型、玉軸受型のEBT型の2種類のターボ分子ポンプをラインナップ。340~4,200L/minまでの幅広い排気速度に対応、コントローラ一体型や水冷／空冷方式の選択が可能です。高温仕様、耐食仕様、反応副生成物対応、低振動など様々なオプションをラインナップし、幅広い用途に柔軟に対応可能です。