ESR型

腐食性プロセス対応、省エネルギーのドライ真空ポンプ

省エネルギー
耐腐食性材料オプション
異なる周波数（50／60Hz）で同一性能
オイルフリー
CEマーキング/SEMI-S2/NRTL対応可能

製品紹介

独自のロータ設計とアイドリング機能により省エネルギーかつ小型化を実現。ランニングコストの削減に貢献します。また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。

スペック

型式 単位 ESR20N ESR30 ESR30N ESR500W(N)
排気速度 L/min 1,300 ~ 2,000 3,000 3,000 46,000
到達圧力 Pa 2 0.53 0.67 0.2
接続口径 吸気口 NW40 NW50 NW50 ISO160
排気口 NW40 NW40 NW40 NW40
到達圧力時電力概略値 kW 0.7 1.7 1.7 3.1
冷却水 流量 L/min 2~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8
温度 ℃ Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa•m3/s 19~22 (0) 19~22 (3.4) 19~22 (3.4) 19~22 (3.4)
電源　相／電圧／周波数 200Vモデル 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz		 3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400Vモデル 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz		 3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
電源容量 kVA 4 7 7 12.3
概略質量 kg 90 190 190 500

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