スペック
| 型式 | 単位 | G6-E A1~A4 | G6-E P1~P4 |
| 処理方式 | 燃焼式＋湿式 | 燃焼式＋湿式 | |
| 最大流入ガス許容量 | L/min | 400 | 400 |
| 燃料 | 都市ガス | プロパンガス | |
| 寸法 | W x D x H mm | 1,200×650×1,900mm | 1,200×650×1,900mm |
| H₂最大処理可能流量 | L/min | 200 | 200 |
| 処理可能ガス例 | プロセス(デポ)ガス H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など | プロセス(デポ)ガス H2 、PH3、Si3H8、SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、など クリーニングガス全般 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 など エッチングガス全般 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 など | |
| 標準装備品 | 大流量H2処理バーナー | 大流量H2処理バーナー | |
| 粉体除去用バーナスクレーパ | 粉体除去用バーナスクレーパ | ||
| オプション | 市水・排水使用量削減ユニット | 市水・排水使用量削減ユニット | |
| 粉体排出削減用ファンスクラバー | 粉体排出削減用ファンスクラバー | ||
