当社はスマートデバイスや家電など私たちの生活を支える半導体の製造工程に欠かせない「CMP装置」を手がけ、世界シェアは2位。世界の半導体製造現場で広く採用されています。
半導体の製造工程では、クリーンな真空が得られる「ドライ真空ポンプ」が不可欠です。当社は世界２位のシェアを占め、世界中の企業に支持されています。
当社が手がける「排ガス処理装置」は、地球温暖化効果の高いPFCsの温暖化効果を低減したり、可燃性ガスを安全に処理する用途など、多様な用途に使われています。
半導体製造装置の一つであり、当社が世界２位のシェアを持つ「CMP装置」は、高精度な平坦化技術によって半導体デバイスの性能を上げる高集積化を実現しています。
世界中の半導体ニーズに応える生産体制を整備するために、2018年にドライ真空ポンプの自動化工場を新設し、自動化のさらなる進化に向けて日々改善に取り組んでいます。
荏原グループはカーボンニュートラル実現に向けて、さまざまなアプローチで環境に配慮した持続可能な半導体製造技術の開発に取り組んでいます。
