工業製品、化学、医療・バイオや基礎科学など、様々なフィールドで様々な分析装置が使用されています。高感度かつ高精度な分析を実現するためには、クリーンな真空環境が欠かせません。荏原のドライ真空ポンプは、高度なクリーン真空環境の構築が可能、かつ研究室や実験室でも使いやすい小型・静音・クリーン排気設計で、様々な分析機器に使用されています。
分析
質量分析計、電子顕微鏡、分光器、紛級器など
工程（プロセス）の詳細
工程における活用例
- ドライ真空ポンプ
工業製品、化学、医療・バイオや基礎科学など、様々なフィールドで様々な分析装置が使用されています。高感度かつ高精度な分析を実現するためには、クリーンな真空環境が欠かせません。荏原のドライ真空ポンプは、高度なクリーン真空環境の構築が可能、かつ研究室や実験室でも使いやすい小型・静音・クリーン排気設計で、様々な分析機器に使用されています。
