精密・電子カンパニー

私たち精密・電子カンパニーの主力製品は「ドライ真空ポンプ」「排ガス処理装置」「CMP装置」。これらの製品が活躍する場所は、国内外の「半導体工場」です。

AI・IoT・5Gなど人類の未来を創るあらゆるテクノロジーに不可欠な半導体。その製造現場は私たちが暮らす環境とは全く異なります。精密に加工されたロータと呼ばれる羽根車の高速回転制御により、半導体製造装置内のガスを真空排気して装置内に清浄な空間を作り出すドライ真空ポンプ、そのガスを環境に無害な形へと変える排ガス処理装置。これらの製品は地球環境に優しい取り組みを志向する半導体業界で、省スペース・省電力、そして温室効果ガス低減効果を付加価値としてお客さまのニーズに応えています。

またCMP装置は高度な制御技術を用いてウェーハ表面を精緻に研磨加工することで、nm（ナノメートル）単位の加工精度を実現しています。半導体の高性能化と共に進化を続ける製造技術の分野で、顧客すらまだ気づいていない性能価値を求め、自社での研究・開発に加え、多くの大学や研究機関とも共同で開発を行っています。

私たちはマーケットインの発想で常に先の未来を見つめ、イノベーションを起こす、困難に直面しても決して諦めない荏原の技術者魂を体現し、さらに進化させていきます。

南部　勇雄
執行役
精密・電子カンパニープレジデント