プラズマクリーニング

不純物除去、コーティング前処理などの表面処理に活躍

工程(プロセス)の詳細

プラズマの化学作用により、肉眼では見えない微量の堆積物や不純物を選択的かつ高度に除去する洗浄方式です。熱による対象物のダメージがなく、水や溶液を使用しないため環境に優しく高効率な表面洗浄が可能です。電子部品、金属製品・樹脂の表面洗浄のほか、コーティング前処理にも用いられます。

工程における活用例

ドライ真空ポンプ

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